项目应用行业：真空薄膜领域

项目合作形式：专利许可，代理销售等

项目简介：

本仪器利用激光杠杆放大原理，激光束在弯曲表面经反射、折射后，接收端光斑移动的距离对应于试样表面的弯曲曲率。由基片弯曲法公式Stoney方程，即可求得薄膜残余应力值。

该仪器可用于薄膜应力的测试，测试范围（1×10-2GPa～1×102GPa）；也可用于镜面反射表面的曲率半径测试，测试范围（0.3M～60M）；配合适当的化学剥层腐蚀液（均匀腐蚀薄膜，而不腐蚀基材）可以测试薄膜应力沿层深分布，仪器可以实现自动定位样品中心和自动测量功能，误差低于2.5%。

目前在售的薄膜应力测试仪器，全部为进口产品，与本产品精度相当的一款美国产品售价近5万美金。本产品预计量产后，制造成本10万元，若售价定为15万，至少可以获得20%的纯利润。后续，可以针对样品台加热和冷却模块功能进行开发，提高产品功能和市场竞争力。

联系人：程毓 / 赵升升

联系电话：13632682951 / 15017925699

E-mail：sszhao@szpt.edu.cn

科研处网址：http://szykyc.szpt.edu.cn